超硬纳米多层膜和复合膜的研究综述

被引：13

作者：

白晓明

郑伟涛

安涛

机构：

[1] 吉林大学材料科学系,吉林大学材料科学系,吉林大学材料科学系长春,长春,长春

来源：

关键词：

纳米; 多层膜; 复合膜; 超硬;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB383 [特种结构材料];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

综述了近年来纳米多层膜和复合超硬涂层研究的最新进展,分析了Ti／TiN、氮化物／氮化物多层膜和Ti-Si-N及Ti-Al-Si-N系复合膜的最新研究现状,详述了纳米多层膜和复合超硬涂层的致硬机理和设计方法,展望了今后纳米多层膜和复合超硬涂层的研究方向.

引用

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