Epitaxial growth of GaN films produced by ECR-assisted MBE

被引:41
作者
Moustakas, TD [1 ]
机构
[1] BOSTON UNIV,MOL BEAM EPITAXY LAB,DEPT ELECT ENGN,BOSTON,MA 02215
来源
GALLIUM NITRIDE AND RELATED MATERIALS | 1996年 / 395卷
关键词
D O I
10.1557/PROC-395-111
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:111 / 122
页数:12
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