Development of mass productive micro stereo lithography (mass-ID process)

被引：45

作者：

Ikuta, K ^{[1
]}

Ogata, T ^{[1
]}

Tsubio, M ^{[1
]}

Kojima, S ^{[1
]}

机构：

[1] NAGOYA UNIV,SCH ENGN,DEPT MICROSYST ENGN,CHIKUSA KU,NAGOYA,AICHI 46401,JAPAN

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493998

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页数：6