Sputtered high Id(31)I coefficient pzt thin film for micro actuators

被引：22

作者：

Sakata, M ^{[1
]}

Wakabayashi, S ^{[1
]}

Goto, H ^{[1
]}

Totani, H ^{[1
]}

Takeuchi, M ^{[1
]}

Yada, T ^{[1
]}

机构：

[1] OMRON CORP,CENT RES & DEV LAB,TSUKUBA,IBARAKI 30042,JAPAN

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493991

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：263 / 266

页数：4