Friction and pull-off force on silicon surface modified by FIB

被引：5

作者：

Ando, Y ^{[1
]}

Ino, J ^{[1
]}

Ozaki, K ^{[1
]}

Ishikawa, Y ^{[1
]}

Kitahara, T ^{[1
]}

机构：

[1] MECH ENGN LAB,TSUKUBA,IBARAKI 305,JAPAN

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.494006

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：349 / 353

页数：5