Elimination of post-release adhesion in microstructures using thin conformal fluorocarbon films

被引：13

作者：

Man, PF ^{[1
]}

Gogoi, BP ^{[1
]}

Mastrangelo, CH ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV MICHIGAN,DEPT ELECT ENGN & COMP SCI,ANN ARBOR,MI 48109

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493829

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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