Micro tensile-test system fabricated on a single crystal silicon chip

被引：21

作者：

Sato, K ^{[1
]}

Shikida, M ^{[1
]}

Yamasaki, M ^{[1
]}

Yoshioka, T ^{[1
]}

机构：

[1] NAGOYA UNIV,DEPT MICRO SYST ENGN,CHIKUSA KU,NAGOYA,AICHI 46401,JAPAN

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.494008

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：360 / 364

页数：5