A modular ion beam deflector

被引：5

作者：

Dahl, DA ^{[1
]}

Appelhans, AD ^{[1
]}

Ward, MB ^{[1
]}

机构：

[1] Idaho Natl Engn & Environm Lab, Idaho Falls, ID 83415 USA

来源：

INTERNATIONAL JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY | 1999年 / 189卷 / 01期

关键词：

ion optics; secondary ion mass spectrometry; ion trap;

D O I：

10.1016/S1387-3806(99)00051-2

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学]; O56 [分子物理学、原子物理学];

学科分类号：

070203 ; 070304 ; 081704 ; 1406 ;

摘要：

A modular electrostatic ion beam deflector has been designed and tested that provides well-isolated xy deflection with minimal beam distortion using a single supply voltage per deflector stage. The convenient stacked electrode design of these deflectors facilitates precise assembly while providing good field termination and isolation characteristics. (C) 1999 Elsevier Science B.V.

引用

页码：47 / 51

页数：5