Surface-micromachined electrostatic-comb driven scanning micromirrors for barcode scanners

被引：24

作者：

Kiang, MH ^{[1
]}

Solgaard, O ^{[1
]}

Muller, RS ^{[1
]}

Lau, KY ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF BERKELEY,DEPT ELECT ENGN & COMP SCI,BERKELEY,CA 94720

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493852

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：192 / 197

页数：6