UV FEL light source for industrial processing

被引：10

作者：

Kelley, MJ ^{[1
]}

Dylla, HF ^{[1
]}

Neil, GR ^{[1
]}

Brillson, LJ ^{[1
]}

Henkel, DP ^{[1
]}

Helvajian, H ^{[1
]}

机构：

[1] DUPONT CO INC,CENT RES & DEV,WILMINGTON,DE 19880

来源：

LASERS AS TOOLS FOR MANUFACTURING OF DURABLE GOODS AND MICROELECTRONICS | 1996年 / 2703卷

关键词：

laser processing; FEL; surface processing; UV light; economic analysis;

D O I：

10.1117/12.237725

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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