Scaling of thermal CMOS gas flow microsensors: Experiment and simulation

被引：16

作者：

Mayer, F ^{[1
]}

Salis, G ^{[1
]}

Funk, J ^{[1
]}

Paul, O ^{[1
]}

Baltes, H ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV ZURICH,PHYS ELECT LAB,CH-8093 ZURICH,SWITZERLAND

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493839

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：116 / 121

页数：6