Micromeasurements: A challenge for photomechanics

被引：16

作者：

Kujawinska, M ^{[1
]}

Pryputniewicz, RJ ^{[1
]}

机构：

[1] WARSAW UNIV TECHNOL,INST MICROMECH & PHOTON,PL-02525 WARSAW,POLAND

来源：

OPTICAL INSPECTION AND MICROMEASUREMENTS | 1996年 / 2782卷

关键词：

micromechanics; photomechanics; MEMS; material properties; optical methods of testing; electronic holography; grating (moire) interferometry; FEM; hybrid methods;

D O I：

10.1117/12.250743

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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