The microstructure of SrBi2Ta2O9 films

被引:13
作者
Gutleben, CD [1 ]
Ikeda, Y [1 ]
Isobe, C [1 ]
Machida, A [1 ]
Ami, T [1 ]
Hironaka, K [1 ]
Morita, E [1 ]
机构
[1] SONY CORP,RES CTR,YOKOHAMA,KANAGAWA 240,JAPAN
来源
METAL-ORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF ELECTRONIC CERAMICS II | 1996年 / 415卷
关键词
D O I
10.1557/PROC-415-201
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:201 / 206
页数:6
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