Micromachined VO2-based uncooled IR bolometric detector arrays with integrated CMOS readout electronics

被引：24

作者：

Jerominek, H ^{[1
]}

Renaud, M ^{[1
]}

Swart, NR ^{[1
]}

Picard, F ^{[1
]}

Pope, TD ^{[1
]}

Levesque, M ^{[1
]}

Lehoux, M ^{[1
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Bilodeau, G ^{[1
]}

Pelletier, M ^{[1
]}

Audet, D ^{[1
]}

Lambert, P ^{[1
]}

机构：

[1] NATL OPT INST,ST FOY,PQ G1P 4N8,CANADA

来源：

MICROMACHINED DEVICES AND COMPONENTS II | 1996年 / 2882卷

关键词：

detector; infrared; uncooled; bolometer; focal plane array; micromachining; vanadium oxide;

D O I：

10.1117/12.250694

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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