Near UV to IR optical characterization of YF3 thin films deposited by evaporation and ion beam processes.

被引:11
作者
Quesnel, E [1 ]
Berger, M [1 ]
Cigna, J [1 ]
Duca, D [1 ]
Pelle, C [1 ]
Pierre, F [1 ]
机构
[1] CEA,LETI,DOPT,COUCHES MINCES OPT,F-38054 GRENOBLE 9,FRANCE
来源
DEVELOPMENTS IN OPTICAL COMPONENT COATINGS | 1996年 / 2776卷
关键词
Yttrium fluoride; Ion Beam Sputtering; e-beam evaporation; optical constants; UV; IR;
D O I
10.1117/12.246824
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:366 / 372
页数:7
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