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Compatible CMOS microsystems for automotive and for medical applications
被引：9
作者：
Kersjes, R
[1
]
Mokwa, W
[1
]
机构：
[1] FRAUNHOFER INST MICROELECT CIRCUITS & SYST,D-47057 DUISBURG,GERMANY
来源：
MICROMACHINED DEVICES AND COMPONENTS II
|
1996年
/
2882卷
关键词：
microsystem;
CMOS-technology;
pressure sensors;
flow sensor;
heart catheter;
blood flow;
automotive application;
medical application;
D O I：
10.1117/12.250703
中图分类号：
O43 [光学];
学科分类号：
070207 ;
0803 ;
摘要：
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页数：12
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