A new micropump with bidirectional fluid transport and selfblocking effect

被引：12

作者：

Stehr, M ^{[1
]}

Messner, S ^{[1
]}

Sandmaier, H ^{[1
]}

Zengerle, R ^{[1
]}

机构：

[1] HAHN SCHICKARD SOC,INST MICRO & INFORMAT TECHNOL,D-78052 VILLINGEN SCHWENN,GERMANY

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.494030

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页数：6