Microelectro-mechanical systems: Technology and applications

被引：10

作者：

Bishop, D

Heuer, A

Williams, D

机构：

[1] Bell Labs, Lucent Technol, Micromech Res Dept, Murray Hill, NJ 07974 USA

[2] Case Western Reserve Univ, Dept Mat Sci & Engn, Cleveland, OH 44106 USA

[3] Sandia Natl Labs, Microsyst Sci Technol & Components Ctr, Livermore, CA 94550 USA

来源：

关键词：

D O I：

10.1557/mrs2001.60

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

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