Adhesion forces reduction for micro manipulation based on micro physics

被引：50

作者：

Arai, F ^{[1
]}

Andou, D ^{[1
]}

Fukuda, T ^{[1
]}

机构：

[1] NAGOYA UNIV,DEPT MICRO SYST ENGN,CHIKUSA KU,NAGOYA,AICHI 46401,JAPAN

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.494007

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页数：6