Design, fabrication and characterization of subwavelength periodic structures for semiconductor anti-reflection coating in the visible domain.

被引：63

作者：

Lalanne, P ^{[1
]}

Morris, GM ^{[1
]}

机构：

[1] INST OPT THEOR & APPL,CNRS URA 14,F-91403 ORSAY,FRANCE

来源：

DEVELOPMENTS IN OPTICAL COMPONENT COATINGS | 1996年 / 2776卷

关键词：

subwavelength structures; anti-reflection coating; grating; binary optics; diffractive optics;

D O I：

10.1117/12.246835

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页数：10