A surface-micromachined shear stress imager

被引：34

作者：

Jiang, FK ^{[1
]}

Tai, YC ^{[1
]}

Gupta, B ^{[1
]}

Goodman, R ^{[1
]}

机构：

[1] CALTECH,PASADENA,CA 91125

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493838

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页数：6