Interconnection challenges and the national technology roadmap for semiconductors

被引：6

作者：

Chang, CS ^{[1
]}

Monnig, KA ^{[1
]}

Melliar-Smith, M ^{[1
]}

机构：

[1] SEMATECH, Austin, TX 78741 USA

来源：

PROCEEDINGS OF THE IEEE 1998 INTERNATIONAL INTERCONNECT TECHNOLOGY CONFERENCE | 1998年

关键词：

D O I：

10.1109/IITC.1998.704736

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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