Bistable microvalve with pneumatically coupled membranes

被引：58

作者：

Wagner, B ^{[1
]}

Quenzer, HJ ^{[1
]}

Hoerschelmann, S ^{[1
]}

Lisec, T ^{[1
]}

Juerss, M ^{[1
]}

机构：

[1] FRAUNHOFER INST SILIZIUMTECHNOL,D-14199 BERLIN,GERMANY

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.494012

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：384 / 388

页数：5