The calibration of scanning electron microscope magnification standards SRM484

被引：10

作者：

Fu, J ^{[1
]}

Vorburger, TV ^{[1
]}

Ballard, DB ^{[1
]}

机构：

[1] NIST,GAITHERSBURG,MD 20899

来源：

METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY X | 1996年 / 2725卷

关键词：

interferometer; measurement uncertainty; Scanning Electron Microscope; SEM magnification; Standard Reference Material;

D O I：

10.1117/12.240150

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：7