Polycrystalline silicon carbide for surface micromachining

被引：16

作者：

Fleischman, AJ ^{[1
]}

Roy, S ^{[1
]}

Zorman, CA ^{[1
]}

Mehregany, M ^{[1
]}

Matus, LG ^{[1
]}

机构：

[1] CASE WESTERN RESERVE UNIV,DEPT ELECT ENGN & APPL PHYS,CLEVELAND,OH 44106

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493986

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页数：5