Temperature-dependent interface reactions and electrical contact properties of titanium on 6H-SiC (vol 10, pg 1652, 1995)

被引：6

作者：

Goesmann, F

SchmidFetzer, R

机构：

来源：

SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY | 1996年 / 11卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1088/0268-1242/11/3/028

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

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共 1 条

[1] TEMPERATURE-DEPENDENT INTERFACE REACTIONS AND ELECTRICAL CONTACT PROPERTIES OF TITANIUM ON 6H-SIC [J].

GOESMANN, F ;

SCHMIDFETZER, R .

SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 1995, 10 (12) :1652-1658