Mechanical properties of thick, surface micromachined polysilicon films

被引：32

作者：

Kahn, H ^{[1
]}

Stemmer, S ^{[1
]}

Nandakumar, K ^{[1
]}

Heuer, AH ^{[1
]}

Mullen, RL ^{[1
]}

Ballarini, R ^{[1
]}

Huff, MA ^{[1
]}

机构：

[1] CASE WESTERN RESERVE UNIV,DEPT MAT SCI & ENGN,CLEVELAND,OH 44106

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.494005

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：343 / 348

页数：6