A magnetically actuated MEMS scanning mirror

被引：10

作者：

Miller, RA ^{[1
]}

Burr, GW ^{[1
]}

Tai, YC ^{[1
]}

Psaltis, D ^{[1
]}

机构：

[1] CALTECH,PASADENA,CA 91125

来源：

MINIATURIZED SYSTEMS WITH MICRO-OPTICS AND MICROMECHANICS | 1996年 / 2687卷

关键词：

MEMS; magnetic; scanning mirror; holographic memory;

D O I：

10.1117/12.234635

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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