High power impulse magnetron sputtering: Current-voltage-time characteristics indicate the onset of sustained self-sputtering (vol 102, art no 113303, 2007)

被引：17

作者：

Andersa, Andre ^{[1
]}

Andersson, Joakim ^{[1
]}

Ehiasarian, Arutiun ^{[2
]}

机构：

[1] Univ Calif Berkeley, Lawrence Berkeley Natl Lab, Berkeley, CA 94720 USA

[2] Sheffield Hallam Univ, Mat & Engn Res Inst, Sheffield S1 1WB, S Yorkshire, England

来源：

基金：

英国工程与自然科学研究理事会;

关键词：

D O I：

10.1063/1.2875523

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页数：1