Study of a pulsed DC glow-discharge used for Plasma-CVD with an ultrafast videosystem and a Langmuir-probe

被引：8

作者：

Beer, TA

Heim, D

Laimer, J

Stori, H

机构：

[1] Vienna Tech Univ, Inst Allgemeine Phys, A-1040 Vienna, Austria

[2] Rubig GMBH & Co KG, A-4600 Wels, Austria

来源：

TRENDS AND NEW APPLICATIONS OF THIN FILMS | 1998年 / 287-2卷

关键词：

Plasma-CVD; pulsed DC discharge; plasma dynamic; Langmuir-probe; videosystem;

D O I：

10.4028/www.scientific.net/MSF.287-288.299

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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