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The role of HO2- in SC-1 cleaning solutions
被引：14
作者：
Verhaverbeke, S
Parker, JW
McConnell, CF
机构：
来源：
SCIENCE AND TECHNOLOGY OF SEMICONDUCTOR SURFACE PREPARATION
|
1997年
/
477卷
关键词：
D O I：
10.1557/PROC-477-47
中图分类号：
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ;
0809 ;
摘要：
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页码：47 / 56
页数：10
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