Planar surface-micromachined pressure sensor with a sub-surface, embedded reference pressure cavity

被引：7

作者：

Eaton, WP ^{[1
]}

Smith, JH ^{[1
]}

机构：

[1] SANDIA NATL LABS,INTEGRATED MICROMECH MICROSENSORS & CMOS TECHNOL,ALBUQUERQUE,NM 87185

来源：

MICROMACHINED DEVICES AND COMPONENTS II | 1996年 / 2882卷

关键词：

embedded MEMS; pressure sensor; pressure transducer; vacuum encapsulation;

D O I：

10.1117/12.250711

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：7