Dependence of the surface morphology and scattering of optical coatings on film material, substrate roughness, and deposition process

被引：1

作者：

Jakobs, S ^{[1
]}

Feigl, T ^{[1
]}

Duparre, A ^{[1
]}

Pichlmaier, S ^{[1
]}

机构：

[1] FRAUNHOFER INST ANGEW OPT & FEINMECH,D-07745 JENA,GERMANY

来源：

DEVELOPMENTS IN OPTICAL COMPONENT COATINGS | 1996年 / 2776卷

关键词：

D O I：

10.1117/12.246814

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页数：11