Dependence of the surface morphology and scattering of optical coatings on film material, substrate roughness, and deposition process

被引:1
作者
Jakobs, S [1 ]
Feigl, T [1 ]
Duparre, A [1 ]
Pichlmaier, S [1 ]
机构
[1] FRAUNHOFER INST ANGEW OPT & FEINMECH,D-07745 JENA,GERMANY
来源
DEVELOPMENTS IN OPTICAL COMPONENT COATINGS | 1996年 / 2776卷
关键词
D O I
10.1117/12.246814
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:196 / 206
页数:11
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