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MICROMAT - International Conference on Micro Materials
被引：8
作者：
Michel, B
[1
]
Schubert, A
[1
]
机构：
[1] Fraunhofer Inst Zuverlassigkeit & Mikrointegrat, D-13555 Berlin, Germany
关键词：
D O I：
10.1007/s005420050132
中图分类号：
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ;
0809 ;
摘要：
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