Comparison between BAW and SAW sensor principles

被引:6
作者
Benes, E
Groschl, M
Seifert, F
Pohl, A
机构
来源
PROCEEDINGS OF THE 1997 IEEE INTERNATIONAL FREQUENCY CONTROL SYMPOSIUM | 1997年
关键词
D O I
10.1109/FREQ.1997.638514
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页数:16
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