Modular concept for fluid handling systems - A demonstrator micro analysis system

被引：34

作者：

Lammerink, TSJ ^{[1
]}

Spiering, VL ^{[1
]}

Elwenspoek, M ^{[1
]}

Fluitman, JHJ ^{[1
]}

vandenBerg, A ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV TWENTE,MESA RES INST,7500 AE ENSCHEDE,NETHERLANDS

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.494013

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：389 / 394

页数：6