Semiconductor technology - Imprints offer moore

被引：33

作者：

Pease, RF ^{[1
]}

机构：

[1] Stanford Univ, Dept Elect Engn, Stanford, CA 94305 USA

来源：

NATURE | 2002年 / 417卷 / 6891期

关键词：

D O I：

10.1038/417802a

中图分类号：

O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];

学科分类号：

07 ; 0710 ; 09 ;

摘要：

The cost of making chip components smaller using photolithographic printing might soon invalidate Moore's law. A new imprinting technique that can reproduce features as small as 10 nm could save it.

引用

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