Low strain sputtered polysilicon for micromechanical structures

被引：11

作者：

Abe, T ^{[1
]}

Reed, ML ^{[1
]}

机构：

[1] TOKYO GAS CO LTD,FRONTIER TECHNOL RES INST,YOKOHAMA,KANAGAWA,JAPAN

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493990

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页数：5