Microspectrometer for the infrared range

被引:12
作者
Krippner, P [1 ]
Mohr, J [1 ]
Muller, C [1 ]
vanderSel, C [1 ]
机构
[1] FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE,INST MIKROSTRUKTURTECH,D-76021 KARLSRUHE,GERMANY
来源
MICRO-OPTICAL TECHNOLOGIES FOR MEASUREMENT, SENSORS, AND MICROSYSTEMS | 1996年 / 2783卷
关键词
D O I
10.1117/12.248496
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
收藏
页码:277 / 282
页数:6
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