A micromechanical relay with a thermally-driven mercury micro-drop

被引：17

作者：

Simon, J ^{[1
]}

Saffer, S ^{[1
]}

Kim, CJ ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF LOS ANGELES,DEPT MECH AEROSP & NUCL ENGN,LOS ANGELES,CA 90095

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.494035

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：515 / 520

页数：6