Organic and inorganic spin-on polymers for low-dielectric-constant applications

被引：100

作者：

Hacker, NP

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1557/S0883769400034175

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：33 / 38

页数：6

共 25 条

[1]

AUMAN BC, 1995, MATER RES SOC SYMP P, V381, P19, DOI 10.1557/PROC-381-19

[2]

BIDSTRUPALLEN S, 1997, S N MAT RES SOC M SA

[3]

BOTHRA S, 1997, P 14 INT VLSI MULT I, P134

[4]

Case C., 1996, LOW DIEL CONST MAT I, P387

[5]

FEIRING AE, 1993, POLYM PREPR AM CHEM, V34, P393

[6] OLIGOMERIC SILSEQUIOXANES, (HSIO3/2)N [J].

FRYE, CL ;

COLLINS, WT .

[7]

FUKUYAMA SI, 1995, P 1 INT DIEL VLSI UL, P80

[8]

HACKER NP, 1995, P VIMC C, P138

[9]

JENG P, 1995, P 1995 S VLSI TECHN, P61

[10]

Lau KSY, 1997, P 14 INT VLSI MULT I, P577