Crystalline carbon nitride films formation by chemical vapor deposition (vol 68, pg 634, 1996)

被引：6

作者：

Fang, PH

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.118100

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：136 / 137

页数：2

共 14 条

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