Vapor deposition of low-dielectric-constant polymeric thin films

被引：46

作者：

Lu, TM

Moore, JA

机构：

[1] SRC,CTR ADV INTERCONNECT SCI & TECHNOL,R&D,BERN,SWITZERLAND

[2] RENSSELAER POLYTECH INST,DEPT CHEM,TROY,NY 12181

来源：

关键词：

D O I：

10.1557/S0883769400034163

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：28 / 31

页数：4

共 29 条

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