Phase-separated inorganic-organic hybrids for microelectronic applications

被引：28

作者：

Miller, RD

Hedrick, JL

Yoon, DY

Cook, RF

Hummel, JP

机构：

[1] IBM CORP,SEMICOND RES & DEV CTR,ADV TECHNOL INTEGRAT GRP,FISHKILL,NY

[2] IBM CORP,SEMICOND RES & DEV CTR,ADV TECHNOL INTEGRAT GRP,YORKTOWN HTS,NY

来源：

关键词：

D O I：

10.1557/S0883769400034199

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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