A coriolis mass flow sensor structure in silicon

被引：17

作者：

Enoksson, P ^{[1
]}

Stemme, G ^{[1
]}

Stemme, E ^{[1
]}

机构：

[1] ROYAL INST TECHNOL,DEPT SIGNAL SENSORS & SYST,S-10044 STOCKHOLM,SWEDEN

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493846

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页数：6