320x240 silicon microbolometer uncooled IRFPAs with on-chip offset correction

被引：63

作者：

Radford, W ^{[1
]}

Murphy, D ^{[1
]}

Ray, M ^{[1
]}

Propst, S ^{[1
]}

Kennedy, A ^{[1
]}

Kojiro, J ^{[1
]}

Woolaway, J ^{[1
]}

Soch, K ^{[1
]}

Coda, R ^{[1
]}

Lung, G ^{[1
]}

Moody, E ^{[1
]}

Gleichman, D ^{[1
]}

Baur, S ^{[1
]}

机构：

[1] SANTA BARBARA RES CTR,SANTA BARBARA,CA

来源：

INFRARED DETECTORS AND FOCAL PLANE ARRAYS IV | 1996年 / 2746卷

关键词：

uncooled focal plane array; micromachining; vanadium oxide; long-wave IR; monolithic; bolometer; microbolometer; BiCMOS; room-temperature;

D O I：

10.1117/12.243062

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：11