Exploring polysilicon micromotors for data storage micro disks

被引:5
作者
Mourlas, NJ [1 ]
Stark, KC [1 ]
Mehregany, M [1 ]
Phillips, SM [1 ]
机构
[1] CASE WESTERN RESERVE UNIV,DEPT ELECT ENGN & APPL PHYS,CLEVELAND,OH 44106
来源
NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年
关键词
D O I
10.1109/MEMSYS.1996.493853
中图分类号
TP [自动化技术、计算机技术];
学科分类号
0812 ;
摘要
引用
收藏
页码:198 / 203
页数:6
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