Gas-source molecular beam epitaxy of electronic devices

被引:5
作者
Beam, EA [1 ]
Brar, B [1 ]
Broekaert, TPE [1 ]
Chau, HF [1 ]
Liu, W [1 ]
Seabaugh, AC [1 ]
机构
[1] TEXAS INSTRUMENTS INC, CORP R&D TECHNOL, DALLAS, TX 75265 USA
来源
COMPOUND SEMICONDUCTOR ELECTRONICS AND PHOTONICS | 1996年 / 421卷
关键词
D O I
10.1557/PROC-421-3
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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