Heat transmission effects of hetero-material(Al-PZT) direct bonding on an in-pipe micro inspection machine

被引：3

作者：

Idogaki, T ^{[1
]}

Kanayama, H ^{[1
]}

Suzuki, H ^{[1
]}

Nagakubo, M ^{[1
]}

Hattori, T ^{[1
]}

机构：

[1] NIPPONDENSO CO LTD,RES LABS,NISSHIN,AICHI 47001,JAPAN

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.494036

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：521 / 526

页数：6