Deposition of oxide thin films on silicon using organic self-assembled monolayers

被引：8

作者：

DeGuire, MR ^{[1
]}

Shin, HJ ^{[1
]}

Collins, R ^{[1
]}

Agarwal, M ^{[1
]}

Sukenik, CN ^{[1
]}

Heuer, AH ^{[1
]}

机构：

[1] CASE WESTERN RESERVE UNIV,DEPT MAT SCI & ENGN,CLEVELAND,OH 44106

来源：

INTEGRATED OPTICS AND MICROSTRUCTURES III | 1996年 / 2686卷

关键词：

thin films; oxide films; liquid-phase deposition; self-assembled monolayers; microstructural characterization; electrical properties;

D O I：

10.1117/12.236127

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：12